ایک سیمی کنڈکٹر فیبریکیشن سہولت کی ضرورت ہے جو ایک ناکام PTFE وسرجن ہیٹر کو ایک کمپیکٹ گیلے بنچ ٹول میں تبدیل کرنے کے لیے درکار ہے۔ دستیاب جگہ ٹینک کی دیوار کے ساتھ 150 ملی میٹر چوڑی سلاٹ تھی، 400 ملی میٹر گہرائی، 100 ملی میٹر فلینج کھلنے کے ساتھ۔ مطلوبہ واٹج 2.5 کلو واٹ تھا۔ معیاری کیٹلاگ ہیٹر یا تو بہت چوڑے، بہت لمبے، یا جگہ کے لیے واٹ کثافت میں بہت زیادہ تھے۔ اس سہولت کو ایک حسب ضرورت ہیٹر کی ضرورت تھی جو سلاٹ میں فٹ ہو اور محفوظ واٹ کی کثافت پر چل سکے۔
محدود سیمی کنڈکٹر ٹول کے لیے PTFE وسرجن ہیٹر کی وضاحت کرنے کے لیے ایک بڑے پلیٹنگ ٹینک کے لیے مخصوص کرنے سے مختلف نقطہ نظر کی ضرورت ہوتی ہے۔ جگہ کی رکاوٹیں زیادہ سخت ہیں، کیمسٹری اکثر زیادہ جارحانہ ہوتی ہے، اور درجہ حرارت کی یکسانیت کے تقاضے زیادہ متقاضی ہوتے ہیں۔ تصریح کو واٹ کی کثافت، سطح کے رقبہ، اور ایک بہت چھوٹے لفافے کے اندر جسمانی فٹ میں توازن رکھنا چاہیے۔
خلائی پابندی کا تجزیہ
پہلا مرحلہ دستیاب جگہ کو درست طریقے سے نقشہ بنانا ہے۔ سیمی کنڈکٹر ٹول میں، ہیٹر کی جگہ اکثر ایک طرف ٹینک کی دیوار، دوسری طرف ویفر کیریئر پاتھ اور نیچے ٹینک کے نیچے کی طرف سے بیان کی جاتی ہے۔ دستیاب حجم ایک فاسد شکل ہو سکتا ہے جسے معیاری ہیٹر نہیں بھر سکتا۔
کلیدی جہتیں زیادہ سے زیادہ چوڑائی، زیادہ سے زیادہ گہرائی، زیادہ سے زیادہ اونچائی، اور حرکت پذیر حصوں کی کلیئرنس ہیں۔ فلینج کا افتتاح ہیٹر کے زیادہ سے زیادہ قطر کی وضاحت کرتا ہے جسے ڈالا جا سکتا ہے۔ وسرجن کی گہرائی قابل استعمال گرم لمبائی کی وضاحت کرتی ہے۔
| طول و عرض | عام پابندی | ہیٹر ڈیزائن پر اثر |
|---|---|---|
| دستیاب چوڑائی | 100-200 ملی میٹر | ہیٹر کی چوڑائی کو محدود کرتا ہے۔ |
| دستیاب گہرائی | 300-500 ملی میٹر | گرم لمبائی کو محدود کرتا ہے۔ |
| فلانج کھولنا | 80-150 ملی میٹر | ہیٹر کے اندراج کو محدود کرتا ہے۔ |
| وسرجن کی گہرائی | 200-400 ملی میٹر | گرم لمبائی کو محدود کرتا ہے۔ |
| کیریئر کو کلیئرنس | 50-100 ملی میٹر | پھیلاؤ کو محدود کرتا ہے۔ |
سیمی کنڈکٹر گیلے بینچ ٹولز میں جگہ کی پابندیاں
واٹ کی کثافت اور سطح کے رقبے کا حساب کتاب
1.0 W/cm² کی محفوظ واٹ کثافت پر 2.5 kW ڈیوٹی کے لیے 2,500 cm² میان کی سطح کا رقبہ درکار ہوتا ہے۔ اسپیس-محدود ٹول میں، اس سطحی رقبے کو حاصل کرنے کے لیے ایک کمپیکٹ ملٹی-پاس کنفیگریشن کی ضرورت ہوتی ہے۔
50 ملی میٹر میان قطر پر، 2,500 cm² کے لیے 1,592 ملی میٹر گرم لمبائی کی ضرورت ہوتی ہے۔ 400 ملی میٹر گہرے ٹینک میں 300 ملی میٹر قابل استعمال وسرجن، جس کا ترجمہ 265 ملی میٹر کے چھ پاسوں میں ہوتا ہے۔ ملٹی-پاس بنڈل تقریباً 300 × 250 ملی میٹر کے فٹ پرنٹ میں فٹ بیٹھتا ہے۔
| میان قطر | سطح کا رقبہ فی 100 ملی میٹر | 2,500 cm² کے لیے گرم لمبائی | 300 ملی میٹر پر گزرتا ہے۔ | قدموں کا نشان |
|---|---|---|---|---|
| 32 ملی میٹر | 100 cm² | 2,500 ملی میٹر | 9 | 300 × 250 ملی میٹر |
| 40 ملی میٹر | 126 cm² | 1,984 ملی میٹر | 7 | 300 × 220 ملی میٹر |
| 50 ملی میٹر | 157 cm² | 1,592 ملی میٹر | 6 | 300 × 200 ملی میٹر |
| 63 ملی میٹر | 198 cm² | 1,263 cm² | 5 | 300 × 180 ملی میٹر |
1.0 W/cm² پر 2.5 kW ڈیوٹی کے لیے ملٹی-پاس کنفیگریشنز
ملٹی-پاس بنڈل کو سلاٹ میں فٹ کرنا
ملٹی-پاس بنڈل کو فلینج اوپننگ اور دستیاب سلاٹ میں فٹ ہونا چاہیے۔ 200 ملی میٹر چوڑائی والا بنڈل 100 ملی میٹر فلینج اوپننگ کے ذریعے فٹ نہیں ہو گا۔ اس کا حل یہ ہے کہ پاسوں کو عمودی سمت میں موڑ دیا جائے تاکہ بنڈل ایک سمت میں تنگ اور دوسری طرف چوڑا ہو، اور اسے تنگ سمت میں فلینج کے ذریعے داخل کیا جائے۔
30 ملی میٹر کے فاصلے پر 50 ملی میٹر قطر کے چھ پاسوں کے ساتھ ایک بنڈل کی چوڑائی ایک سمت میں تقریباً 6 × 50 + 5 × 30=450 ملی میٹر اور دوسری سمت میں 50 ملی میٹر ہے۔ اگر فلینج کی افتتاحی 100 ملی میٹر ہے، تو بنڈل کو 50 ملی میٹر کے طول و عرض کے ساتھ کھولا جا سکتا ہے، پھر پوزیشن میں گھمایا جا سکتا ہے۔
| بنڈل کنفیگریشن | چوڑائی (پاس) | گہرائی (درجہ قطر) | 100 ملی میٹر فلینج فٹ بیٹھتا ہے۔ | 150 ملی میٹر سلاٹ فٹ بیٹھتا ہے۔ |
|---|---|---|---|---|
| 4 پاس، 50 ملی میٹر، 30 ملی میٹر وقفہ | 290 ملی میٹر | 50 ملی میٹر | ہاں (گھمایا) | جی ہاں |
| 5 پاس، 50 ملی میٹر، 30 ملی میٹر وقفہ | 370 ملی میٹر | 50 ملی میٹر | ہاں (گھمایا) | جی ہاں |
| 6 پاس، 50 ملی میٹر، 30 ملی میٹر وقفہ | 450 ملی میٹر | 50 ملی میٹر | ہاں (گھمایا) | حاشیہ دار |
| 6 پاس، 40 ملی میٹر، 25 ملی میٹر وقفہ | 365 ملی میٹر | 40 ملی میٹر | ہاں (گھمایا) | جی ہاں |
بنڈل کنفیگریشنز اور فلینج اوپننگ کے ذریعے فٹ کریں۔
تنگ جگہوں میں بہاؤ اور درجہ حرارت کی یکسانیت
ایک محدود جگہ- ٹول میں، ہیٹر کے ارد گرد بہاؤ اکثر قریبی ٹینک کی دیوار اور ویفر کیریئر کے ذریعہ محدود ہوتا ہے۔ بہاؤ ناہموار ہو سکتا ہے، ایک طرف تیز رفتار اور دوسری طرف کم رفتار۔ یہ کم- رفتار والی طرف ہاٹ سپاٹ بنا سکتا ہے۔
ایک سوراخ شدہ چکرا یا فلو گائیڈ بنڈل کے ارد گرد بہاؤ کو زیادہ یکساں طور پر تقسیم کر سکتا ہے۔ چکرا کو دستیاب جگہ کے اندر فٹ ہونے اور گزرگاہوں کے درمیان خالی جگہوں سے براہ راست بہاؤ کے لیے ڈیزائن کیا جانا چاہیے۔ مقامی رفتار کو بڑھانے کے لیے ایک چھوٹا معلم بھی استعمال کیا جا سکتا ہے۔
سیمی کنڈکٹر سروس کے لیے مواد اور تعمیر
سیمی کنڈکٹر ٹولز کو اکثر اعلی-پاکیزگی والے مواد کی ضرورت ہوتی ہے۔ PTFE میان کنواری، کم ایکسٹریکٹ ایبلز کے ساتھ بھرا ہوا پولیمر ہونا چاہیے۔ فلینج ٹھوس PTFE یا PTFE-لائنڈ سٹینلیس سٹیل کا ہونا چاہیے۔ آلودگی سے بچنے کے لیے ٹرمینل کے انکلوژر کو سیل کر کے نکالا جانا چاہیے۔
تنصیب سے پہلے ہیٹر کو صاف اور غیر فعال کرنا چاہئے۔ کوئی بھی بقایا مینوفیکچرنگ تیل یا ذرات غسل کے عمل کو آلودہ کر سکتے ہیں۔
جب ایک معیاری ہیٹر ٹول میں فٹ نہیں ہو سکتا
ایک معیاری ہیٹر شاذ و نادر ہی کسی جگہ-محدود سیمی کنڈکٹر ٹول پر فٹ بیٹھتا ہے۔ دستیاب جگہ بہت چھوٹی ہے، شکل بہت بے قاعدہ ہے، اور طہارت کے تقاضے بہت سخت ہیں۔ ایک کمپیکٹ ملٹی-پاس بنڈل، ایک ٹھوس PTFE فلینج، اور سیل بند ٹرمینل انکلوژر کے ساتھ ایک حسب ضرورت PTFE وسرجن ہیٹر کنفیگریشن کو مخصوص ٹول کے لیے ڈیزائن کیا گیا ہے۔ تصریح کے عمل کے لیے دستیاب جگہ کے طول و عرض، فلینج کھلنے، وسرجن کی گہرائی، غسل کیمسٹری، مطلوبہ واٹج، اور طہارت کے تقاضوں کی ضرورت ہوتی ہے۔
