پاکیزگی کی ضرورت جو ترتیب کو چلاتی ہے۔
ایک سیمی کنڈکٹر گیلے بینچ کو 5 m³/h کی بہاؤ کی شرح کے ساتھ 60 ڈگری پر انتہائی صاف پانی کی ضرورت ہوتی ہے۔ پانی کی پاکیزگی کی تفصیلات دھاتی آئنوں کے لیے 1 ppt سے کم، 0.05 μm سے زیادہ فی لیٹر 100 سے کم ذرات، اور کل نامیاتی کاربن (TOC) کے لیے 5 ppb سے کم۔
ہیٹ ایکسچینجر کو آلودگی کو متعارف کرائے بغیر پانی کو گرم کرنا چاہیے۔ گیلے ہوئے مواد کو الٹرا پیور پانی کے ساتھ ہم آہنگ ہونا چاہیے، اور سطحیں ہموار اور نقائص سے پاک ہونی چاہیے جو ذرات کو پھنس سکتی ہیں یا نکالنے کے قابل مواد کو چھوڑ سکتی ہیں۔
PTFE ترجیحی مواد ہے کیونکہ یہ کیمیاوی طور پر غیر فعال ہے اور دھاتی آئنوں کو لیچ نہیں کرتا ہے۔ لیکن PTFE ٹریس فلورائڈز اور نامیاتی مرکبات کو لیچ کر سکتا ہے، اور لیچنگ کی شرح سطح کی تکمیل، درجہ حرارت، اور نمائش کے وقت پر منحصر ہے۔
ٹیوب کا مواد اور سطح ختم
الٹرا پیور واٹر ہیٹنگ کے لیے ٹیوب میٹریل کم ایکسٹریکٹ ایبلز کے ساتھ اعلی-پاکیزگی کا پی ٹی ایف ای گریڈ ہونا چاہیے۔ مواد کو سیمی کنڈکٹر سروس کے لیے تصدیق شدہ ہونا چاہیے اور اعلی-پاولیمر مواد کے لیے SEMI F57 تصریحات کو پورا کرنا چاہیے۔
سطح کی تکمیل ہموار اور خروںچ، گڑھے یا دیگر نقائص سے پاک ہونی چاہیے۔ ایک کھردری سطح ذرات کو پھنس سکتی ہے اور انہیں پانی میں چھوڑ سکتی ہے۔ ایک ہموار سطح ذرہ آسنجن اور نکالنے کے قابل رہائی کو کم کرتی ہے۔
انتہائی صاف پانی کی خدمت کے لیے سطح کی کھردری 0.5 μm Ra سے کم ہونی چاہیے۔ ایک ہموار سطح، 0.2 μm Ra سے کم، سب سے زیادہ مطلوب ایپلی کیشنز کے لیے ترجیح دی جاتی ہے۔
بہاؤ کا راستہ اور رہائش کا وقت
ہیٹ ایکسچینجر کے ذریعے بہاؤ کا راستہ رہائشی وقت کو کم سے کم کرنے اور جمود کو روکنے کے لیے ڈیزائن کیا جانا چاہیے۔ طویل رہائش کا وقت پانی کو پی ٹی ایف ای کی سطح سے مزید ایکسٹریکٹ ایبلز لینے کی اجازت دیتا ہے۔ جمود کا زون ذرات اور مائکروجنزموں کو جمع ہونے دیتا ہے۔
رہائش کے وقت کو کم سے کم کرنے کے لیے بہاؤ کا راستہ تیز رفتاری کے ساتھ واحد پاس ہونا چاہیے۔ ایک ملٹی-پاس کے انتظام سے گریز کیا جانا چاہئے کیونکہ موڑ جمود کے زون بناتے ہیں اور رہائش کا وقت بڑھاتے ہیں۔
ہنگامہ خیز بہاؤ فراہم کرنے اور سطح کو صاف رکھنے کے لیے بہاؤ کی رفتار 1.5–2.5 m/s ہونی چاہیے۔ زیادہ رفتار سے پریشر ڈراپ اور پمپنگ انرجی میں اضافہ ہوتا ہے، لیکن یہ ذرہ کی چپکنے اور نکالنے کے قابل رہائی کو بھی کم کرتا ہے۔
کنکشن کی قسم اور صفائی
کنکشن کو صاف کرنے اور کم سے کم ذرہ پیدا کرنے کے لیے ڈیزائن کیا جانا چاہیے۔ سینیٹری کلیمپ کنکشنز کو ترجیح دی جاتی ہے کیونکہ یہ ایک ہموار، درانداز-مفت جوڑ فراہم کرتے ہیں جو صاف کرنا آسان ہے۔ PTFE گسکیٹ کے ساتھ فلینجڈ کنکشن قابل قبول ہیں لیکن دراڑوں سے بچنے کے لیے مزید احتیاط کی ضرورت ہے۔
مکمل نکاسی کی اجازت دینے کے لیے کنکشن پر مبنی ہونا چاہیے۔ نچلی جگہوں پر جہاں پانی ٹھہر سکتا ہے ان سے بچنا چاہیے۔ کنکشن صفائی اور نمونے لینے کے لیے قابل رسائی ہونا چاہیے۔
ہیٹ ایکسچینجر کو انتہائی صاف پانی سے یا ایک پتلی صفائی کے محلول کے ساتھ جگہ کی صفائی کے لیے ڈیزائن کیا جانا چاہیے۔ صفائی کے کنکشن موجود ہونے چاہئیں تاکہ صفائی کا محلول تمام گیلی سطحوں سے رابطہ کر سکے۔
لیک کا پتہ لگانے کی دفعات
ہیٹ ایکسچینجر میں ایک رساو جو انتہائی پیور پانی کو گرم کرتا ہے پانی کو سروس فلوڈ سے آلودہ کر سکتا ہے۔ سروس سیال بھاپ، گرم پانی، یا حرارت کی منتقلی کا سیال ہو سکتا ہے، اور ان میں سے کوئی بھی دھاتی آئنوں، ذرات، یا نامیاتی مرکبات کو انتہائی صاف پانی میں داخل کر سکتا ہے۔
ہیٹ ایکسچینجر کو ڈبل-وال ٹیوب کے ساتھ یا پروسیس اور سروس سائیڈز کے درمیان رساو کا پتہ لگانے والے پورٹ کے ساتھ ڈیزائن کیا جانا چاہیے۔ دوہری-وال ٹیوب دو سیالوں کے درمیان ایک رکاوٹ فراہم کرتی ہے، اور رساو کا پتہ لگانے والا پورٹ سیالوں کے مکس ہونے سے پہلے رساو کا پتہ لگانے کی اجازت دیتا ہے۔
رساو کا پتہ لگانے والی بندرگاہ کو ایک ایسے سینسر سے منسلک کیا جانا چاہئے جو سروس سیال بندرگاہ میں داخل ہونے پر خطرے کی گھنٹی بجاتا ہے۔ سینسر ایک چالکتا سینسر، پی ایچ سینسر، یا پریشر سینسر ہو سکتا ہے۔
تفصیلات چیک لسٹ
مندرجہ ذیل جدول الٹرا پیور واٹر ہیٹنگ والے سیمی کنڈکٹر گیلے بینچ کے لیے PTFE ہیٹ ایکسچینجر کے کنفیگریشن پیرامیٹرز کا خلاصہ کرتا ہے۔
| پیرامیٹر | تفصیلات | بنیاد |
|---|---|---|
| پانی کے بہاؤ کی شرح | 5 m³/h | عمل کی ضرورت |
| پانی کا درجہ حرارت | 60 ڈگری | عمل کی ضرورت |
| گرمی کا بوجھ | 200 کلو واٹ | بہاؤ کی شرح اور درجہ حرارت میں اضافہ |
| ٹیوب مواد | اعلی-طہارت PTFE | سیمی کنڈکٹر مطابقت |
| سطح ختم | < 0.2 μm Ra | ذرہ اور نکالنے والا کنٹرول |
| بہاؤ کا راستہ | سنگل پاس | رہائش کا وقت کم سے کم کریں۔ |
| بہاؤ کی رفتار | 2.0 m/s | ہنگامہ خیز بہاؤ اور سطح سکورنگ |
| کنکشن کی قسم | سینیٹری کلیمپ | صفائی اور شگاف-مفت |
| کنکشن واقفیت | نکاسی کے قابل | جمود کو روکیں۔ |
| صفائی کے انتظامات | -جگہ میں صفائی | پاکیزگی کو برقرار رکھیں |
| لیک کا پتہ لگانا | بندرگاہ کے ساتھ دوہری-وال ٹیوب | آلودگی کو روکیں۔ |
| لیک سینسر | چالکتا یا دباؤ | سروس سیال کے اندراج کا پتہ لگائیں۔ |
| درجہ حرارت سینسر | آؤٹ لیٹ | کنٹرول اور نگرانی |
| پریشر ڈراپ سینسر | ہیٹ ایکسچینجر کے اس پار | فاؤلنگ اور بہاؤ کی نگرانی |
| سطح کا علاقہ | 15 m² | گرمی کا بوجھ اور گرمی کا بہاؤ |
| حرارت کا بہاؤ | 1.3 W/cm² | درجہ حرارت اور طہارت کنٹرول |
لاگت کا تخمینہ
الٹرا پیور واٹر ہیٹنگ والے سیمی کنڈکٹر گیلے بینچ کے لیے PTFE ہیٹ ایکسچینجر کی قیمت سطح کے علاقے، ٹیوب کے مواد، سطح کی تکمیل، اور رساو کا پتہ لگانے کی دفعات پر منحصر ہے۔ ایک 15 m² یونٹ کے لیے جس میں اعلی-پاکیزگی والی PTFE ٹیوبیں، ایک ہموار سطح کی تکمیل، سینیٹری کلیمپ کنکشنز، اور ایک دوہری-وال ٹیوب جس میں رساو کا پتہ لگانا ہے، سرمایہ کی قیمت تقریباً $55,000–70,000 ہے۔
سالانہ دیکھ بھال کی لاگت تقریباً $4,000–6,000 ہے، بشمول صفائی، رساو کا پتہ لگانے والے سینسر کیلیبریشن، اور سطح کا معائنہ۔ مناسب دیکھ بھال کے ساتھ سروس کی زندگی 10-15 سال متوقع ہے۔
معیاری اکائی کے ساتھ موازنہ
صنعتی خدمات کے لیے ایک معیاری PTFE ہیٹ ایکسچینجر کی سطح زیادہ کھردری، ایک کثیر-پاس بہاؤ کا راستہ، اور فلینجڈ کنکشنز ہوتے ہیں۔ معیاری یونٹ میں ذرہ پیدا کرنے کی زیادہ شرح، ایک اعلیٰ نکالنے کے قابل رہائی کی شرح، اور جمود کا زیادہ خطرہ ہے۔
معیاری یونٹ الٹرا پیور واٹر سروس کے لیے موزوں نہیں ہے کیونکہ پارٹیکل اور TOC کی وضاحتیں پوری نہیں کی جا سکتیں۔ ہموار سطح کے ساتھ حسب ضرورت یونٹ، سنگل-پاس بہاؤ کا راستہ، اور سینیٹری کنکشن تصریحات پر پورا اترتے ہیں۔
الٹرا پیور پانی کی ضروریات کے مطابق ترتیب
الٹرا پیور واٹر ہیٹنگ والے سیمی کنڈکٹر گیلے بینچ کے لیے PTFE ہیٹ ایکسچینجر کی ترتیب کو طہارت کے تقاضوں، درجہ حرارت کے تقاضوں اور بہاؤ کے تقاضوں سے مماثل ہونا چاہیے۔ اعلی-پاکیزہ ٹیوب مواد، ہموار سطح کی تکمیل، واحد-پاس بہاؤ کا راستہ، سینیٹری کنکشن، اور رساو کا پتہ لگانے کے انتظامات اہم خصوصیات ہیں۔
کنفیگریشن کو پروکیورمنٹ دستاویزات میں بیان کیا جانا چاہیے اور کمیشننگ کے وقت اس کی تصدیق ہونی چاہیے۔ آؤٹ لیٹ پر پانی کی پاکیزگی کو دھاتی آئنوں، ذرات اور TOC کے لیے جانچا جانا چاہیے۔ رساو کا پتہ لگانے کے نظام کو حساسیت اور رسپانس ٹائم کے لیے ٹیسٹ کیا جانا چاہیے۔
PTFE ہیٹ ایکسچینجر کے اختیارات کا جائزہ لینے والی سیمی کنڈکٹر گیلے بینچ کی سہولیات کے لیے، ترتیب اصل پاکیزگی کے تقاضوں اور عمل کی اصل شرائط پر مبنی ہونی چاہیے۔ مینوفیکچرر کی طرف سے فراہم کردہ ڈیفالٹ کنفیگریشن سیمی کنڈکٹر کی تصریحات کو پورا نہیں کر سکتی، اور اس کے نتیجے میں ہونے والی آلودگی عمل کی پیداوار کو متاثر کر سکتی ہے۔
سیمی کنڈکٹر گیلے بنچوں یا دیگر الٹرا پیور واٹر سروس کے لیے پی ٹی ایف ای ہیٹ ایکسچینجر کی تفصیلات کا جائزہ لینے والے آلات کے انجینئرز اور پروکیورمنٹ ماہرین پانی کے بہاؤ کی شرح، پانی کا درجہ حرارت، گرمی کا بوجھ، ٹیوب کا مواد، سطح کی تکمیل، بہاؤ کا راستہ، کنکشن کی قسم، صفائی کے انتظامات، اور رساو کا پتہ لگانے کے لیے ڈیزائن کے جائزے کی درخواست کر سکتے ہیں۔

